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Couches minces

 

  • Chapitre 1. Notions sur la physique des couches minces
    1. Définition d’une couche mince,
    2. mode de croissance des couches minces,
    3.  paramètres contrôlant la croissance des couches minces,
    4. effets influençant la pureté d’une couche mince
  • Chapitre 2. Techniques de dépôts physiques
    1. Pulvérisation,
    2. évaporation
  • Chapitre 3. Techniques de dépôts chimiques
    1. CVD,
    2. épitaxie en phase liquide,
    3. PECVD.
  • Chapitre 4. Caractérisation des couches minces
  • Chapitre 5. Propriétés électriques des couches minces.