Technologie du vide et Salle blanche
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Techniques du vide : terminologie du vide, pompes à vide, Jauge à vide, enceintes à vide,…
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Généralités sur la conception de salle blanche
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Types de salle blanche et normes internationales
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Filtration de l’air
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Techniques d’ultra purification des salles blanches
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Production d’eau désionisée
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Règles d’accès à une salle blanche
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Règles d’utilisation des produits chimiques dangereux (Acides, bases, solvants,…)
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Présentation générale des équipements de la salle blanche
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Procédés Technologiques : procédé de nettoyage standard, oxydation, étalement de la résine, photolithographie