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Procédés d’élaboration des dispositifs semi-conducteurs

 

  •  Historique et Généralités sur les semi-conducteurs (Couches minces, technologie planaire, caissons d’isolement ...).
  • Du sable à la plaquette de silicium.
  • Le tirage et la croissance des semi-conducteurs.
  •  Techniques de nettoyage.
  • Oxydation par voie humide et sèche.
  • Dépôt de matériau: épitaxie, pulvérisation cathodique, dépôt chimique en phase vapeur.
  •  Dopage: diffusion, implantation ionique.
  •  Photolithographie.
  •  Gravure chimique, gravure physique, polissage mécano-chimique.
  •  Métallisation, passivation.